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下载名称:中国电子行业超纯水国家标准添加时间:2007-4-18 9:29:31
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中国电子行业超纯水国家标准

GB/T1146.1-1997

  级别

 指标 

EW-I

EW-II

电阻率MΩ.cm25

18以上(95%时间)不低于17

1595%时间)不低于13

≤µg/l

2

10

>1µM微粒数/ml

0.1

5

细菌个数/ml

0.01

0.1

≤µg/l

0.2

1

≤µg/l

0.2

1

≤µg/l

0.1

1

≤µg/l

0.5

2

≤µg/l

0.5

2

≤µg/l

1

1

硝酸根≤µg/l

1

1

磷酸根≤µg/l

1

1

硫酸根≤µg/l

1

1

总有机碳≤µg/l

20

100

 

 

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