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| 下载名称中国电子行业超纯水国家标准 | 添加时间2007/4/18 9:29:31 | 文件大小37.5 KB | 下载����点击下载 |
| 中国电子行业超纯水国家标准
GB/T1146.1-1997
级别
指标 |
EW-I |
EW-II |
电阻率MΩ.cm(25℃) |
18以上(95%时间)不低于17 |
15(95%时间)不低于13 |
硅≤µg/l |
2 |
10 |
>1µM微粒数≤个/ml |
0.1 |
5 |
细菌个数≤个/ml |
0.01 |
0.1 |
铜≤µg/l |
0.2 |
1 |
锌≤µg/l |
0.2 |
1 |
镍≤µg/l |
0.1 |
1 |
钠≤µg/l |
0.5 |
2 |
钾≤µg/l |
0.5 |
2 |
氯≤µg/l |
1 |
1 |
硝酸根≤µg/l |
1 |
1 |
磷酸根≤µg/l |
1 |
1 |
硫酸根≤µg/l |
1 |
1 |
总有机碳≤µg/l |
20 |
100 |
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